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超精密研磨
超精密研磨について
我社の特殊研磨技術は、従来の研磨工法(研削・電解・化学・ブラスト・バフ・バレル等)では「困難だ、不可能だ」と あきらめられていた形状や材質に果敢に挑戦し続けて開発した、オリジナル工法です。形状に沿って粗い面を鏡面に仕上げる(加工事例をご覧下さい)ことが出来ます。

ウルトラクリーンテクノロジーの代表格である半導体製造装置に使用されているフレキシブルチューブ内面の山面、側面、谷面の不連続曲面でも鏡面仕上げを実現させました。
コンタミネーションコントロールのキーポイントの一つに、純水・高純度ガス・薬液等の流体経路パイプ内面の面粗度があります。当社の特殊研磨は電解研磨や化学研磨と 同等以上の仕上げ面が得られます。
又、セラミック真空チャックピン立て部の凹凸面の全面を均質に磨く事も出来ます。

医療や分析機器関連では、細く曲がった形状で、しかも絞り加工やテーパー加工されたパイプが増えてきていますが、 いずれも対応できます。我社では、内径φ0.1mmで長さ1,000mmができ、φ0.2mmで2,000mmができます。

技術的には内径φ5mmで長さ5,000mm、大口径管内径φ500mm位までは可能ですのでご相談下さい。
超精密研磨実績素材
  • ステンレス鋼 SUS303,304,316,316L
  • ファインセラミックス 炭化ケイ素(SiC)、アルミナ、窒化アルミ
  • チタニウム
  • ニッケルチタン
  • コバルトクロム
  • インコネル
  • ハステロイ
  • タンタル
  • アルミニウム
  • 石英
  • モリブデン
  • ジルコニア
  • タングステン
その他ご相談下さい >>お問い合わせはこちらから
実績分野加工例

精密機器分野

エッジ仕上げ技術(材質:アルミニウム)

HDDキャリッジHDDキャリッジバリ取りでは
スウェージングホールダレのないバリ取りが出来ます。
下図:走査電子顕微鏡写真図
研磨前
研磨前arrow
研磨後
研磨後

歯車研磨

(材質:SUS304)

トライポロジーに貢献する精密歯車の研磨です。
研磨前 ×10
研磨前arrow
研磨後 ×10
研磨後

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